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更正澄清: LDP 不是 (Laser - Driven Plasma) ,應該是(Laser-assisted Discharge Plasma)

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EUV光刻機2025年面世！華為采用LDP光源取代ASML的LPP光源，在東

論文來源: 哈工大 2019年 (https://www.hanspub.org/journal/paperinformation?paperid=28348)

LDP EUV光源全勝LPP？LDP全面優於LPP，但沒外企

 

 

 

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