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上海光机所在纳米叠层薄膜界面缺陷研究方面取得新进展

 

德國蔡司提出聯合測試,並承認中國光學已形成自主知識體系

納米疊層鍍膜技術 大幅提高光刻機反射鏡的壽命由6個月改為12~18個月,提升效率,降低成本

目前航太望遠鏡、光刻機等應用取得進步

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